機能水製造装置
酸還王シリーズ
機能水製造装置「酸還王シリーズ」
～様々な用途に使える機能水を供給致します～
- 電子産業
超純水の溶存ガス濃度をコントロールすることにより、低ダメージで高い洗浄効果を達成します。薬品洗浄コスト削減、熱エネルギーコストの削減にもつながり、製造コストの飛躍的削減が可能となります。
酸還王H300
特長
20年以上の実績を誇る機能水製造装置「酸還王シリーズ」
酸還王Ｈ：水素水製造装置
酸還王Ｚ：オゾン水製造装置
酸還王Ｄ：脱気水製造装置
酸還王Ｇ：ガス溶解水装置
半導体、液晶、電子部品等の高度洗浄法の決定版（用途）
酸還王Ｈ：微粒子除去（ＣＭＰ後洗浄、ガラス研磨後洗浄）、還元作用（Ｃｕ配線酸化抑制）
酸還王Ｚ：有機物除去、レジスト除去、Ｓｉウエハーの酸化膜作成
酸還王Ｄ：基板の酸化防止
酸還王Ｇ：半導体微細パターン倒れ予防効果